下降气流流速
在工作区上方高于前窗操作口上沿100mm的水平面上确定测量点位置,多点测量穿过该平面的下降气流流速。
1、测量点等距分布,形成的正方形栅格不大于150mm×150mm,洁净室等级,测试点Zui少应有3排,每排Zui少应有7个测量点。
2、测试区域边界与安全柜的内壁及前窗操作口的距离应为150mm。
五、流入气流流速
测量排气气流流速确定流入气流流速(适于Ⅱ级A1、A2型安全柜)
1、用热式风速仪多点测量穿过排气过滤器面的气流流速,测量点为不大于100mm×100mm的栅格点,边界点距过滤器边缘100mm,测量面与过滤器面的距离约100mm。
2、计算各测点排气流速平均值即为平均排气流速(m/s),平均排气流速乘以排气面积(m2),得到排气流量(m3/s)。
3、排气流量(m3/s)除以前窗操作口面积(m2),得到平均流入气流流速(m/s)。
采用孔板下送风方式时,洁净室施工,应符合下列要求:
1 孔板上部稳压层的高度应经计算确定:且净高不应小于0.2m;
2 向稳压层内送风的速度宜采用 3~5m/s;当送风射程小于4m时,洁净室施工及验收规范,稳压层内可不设送风分布支管;在进风口处宜装设防止送风气流直接吹向孔板的导流片或挡板;
3 孔板布置应与室内局部热源的分布相适应;
4 利用吊顶上部空间做静压箱,在吊顶上直接设孔板或风口时,吊顶四周及顶部围护结构应保温和密封,且不应大面积采用这种送风方式。
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无菌室应用范围: 无菌室一个应用行业非常广泛的基础性配套产业,在电子信息、半导体、光电子、精密制造、药类卫生、生物工程、航天航空、汽车喷涂等众多行业均有应用,并根据行业的精密与无尘要求,等级差别也较大。 目前级别的当属航天航空的航空仓,焦作洁净室,基本是属于1级,属于特殊领域,面积相对较小。 另外对级别要求较高的是生化实验室和高精纳米材料生产车间,物联网芯片的发展将是未来需求的一大方向。 随着电子元器件向微小化方向发展,液晶面板已经升级至第八代,行业需求非常巨大。
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